1. 招標條件

本招標項目12英寸非接觸式光刻機 該項目已具備招標條件，現(xiàn)對12英寸非接觸式光刻機進行國內(nèi)公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號：ZKX20250915A005

2.2 招標項目名稱：12英寸非接觸式光刻機。

2.3 數(shù)量：1套。

2.4 核心技術(shù)指標：

2.4.1 曝光光源：汞燈（i線）

2.4.2 最大光刻面積：≥8英寸

2.4.3 分辨率：優(yōu)于0.5μm (正性光刻膠厚度1um)

2.4.4 套刻精度：優(yōu)于±350nm @ 8英寸

2.4.5 曝光時間：≤120s @300mj（8英寸全片超過1.4億個多邊形結(jié)構(gòu)）

2.4.6 掩模版下表面與芯片上表面之間距離不小于10mm

2.5 交貨

2.6 交貨期：合同生效后5個月內(nèi)。

3. 投標人資格要求

3.1 投標人須具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。

3.2本次招標接受代理商投標。

3.3本次招標不接受聯(lián)合體投標。

3.4其他要求：授權(quán)代表須提供投標截止時間前最近6個月中任意1個月社保證明文件（如果委托代理人的社保不是投標人繳納，需要提供委托代理人和投標人之間的用工合同，投標人委托第三方投保的有效合同證明）。

3.5投標人必須向招標代理機構(gòu)

4.

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編輯：365trade